簡(jiǎn)單說(shuō)的話，鋯靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。有金屬類(lèi)、合金類(lèi)、氧化物類(lèi)等等。例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鉻、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。 

主要應(yīng)用在： 

1、微電子領(lǐng)域 

2、平面顯示器用靶材 

3、存儲(chǔ)技術(shù)用靶材等