原則上，各種電阻爐、感應爐、燃料爐都可以用于鈦材熱處理;一般現在用于鋼材、鋁材和銅材的熱處理設備也都適用于鈦合金鈦材熱處理;也有定形的產品可供采用。現在已有各種各樣爐型，外形有鐘罩形、井式、方形、長方形，作業方式有間隙的和連續的，還有軌道爐和鹽浴爐。但是，選用爐型和操作一定適合各種不同外形的鈦材。因此，逐漸形成各種專用的加熱設備，當然最佳的方式是各種電加熱爐。

   對于某些成品鈦材熱處理有時需用真空熱處理爐，也有定形產品可供選用，也可以在原退火爐配置真空系統。本系統需要求中真空，壓力達P＜Pa。真空機組應采用油增壓泵為主泵。

   目前還有一種節電加熱設備，即接觸電加熱爐。它是將電極直接與被處理的鈦材直接連接，通以大電流，依靠制品本身的電阻熱使爐體加熱。它是內加熱，保溫性能好，可節能約60%，但它僅適用于不變斷面制品且要足夠長，最好長度與直徑比值大于30理論上盡管大斷面制品也可用，但需要大電流、大功率的加熱裝置，比較困難。接觸電加熱具有均勻、迅速，金屬氧化少、晶粒不易長大等優點，適用于加熱鈦棒材、鈦型材、鈦管材和鈦線材，具有最高生產率，產品質量也好，值得推廣應用。

   熱處理加熱設備大多是大型設備如鈦管、鈦棒材的退火爐，有的需要5-7m，甚至達10m。對于大型退火爐，特別是長的退火爐，如果要達到恒溫區溫度均勻，是有一定技術難度的。熱處理工藝中溫度對產品質量影響甚大，不僅要使恒溫區溫度均勻，而且要使溫度控制精確。溫度控制應借助于配置電腦控制的溫控器，并且要多點測溫和多點控制。

   為了裝卸方便，爐內應配置合適的料筐，料筐放置于爐底的軌道上，以便于需要時可以在水平面上移動。對于真空退火爐，退火的鈦材都是經過表面凈化處理的。這些表面無氧化皮的鈦材高溫時易粘接，為了防止粘接，應在爐內配置夾具，特別是鈦材可用懸掛裝置，以便于放置時保持間隙幾。